第一顆8英寸硅單晶落地，打響半導體材料產業化新年“第一槍”
2021-02-02 16:52:05
來源：中國電科46所
年伊始，喜訊傳來。中國電科46所新材料產業園區內首顆8英寸硅單晶順利落地。這是一顆具有歷史意義的硅單晶，標志著新區建設取得了階段性成功，將逐步從建設期跨入使用期，為后續相關半導體材料的蓬勃發展提供強大助力。
黨的十九屆五中全會提出，要加快構建以國內大循環為主體、國內國際雙循環相互促進的新發展格局。在實現雙循環新發展格局的過程中，高端制造是重要支撐力量。硅單晶生產需使用無塵凈化車間，拉晶設備更需要水、電、氣等諸多配套設施。為保證設備使用安全并縮短相關配套工期，必須給設備的安裝調試和使用預留充足時間。經過周密設計和緊張施工，在各級領導的大力支持和協調下，多部門通力配合，歷時近3個月的艱苦奮戰，具備直拉硅單晶爐規模生產的新區單晶無塵廠房正式投入使用。
舊貌換新顏的無塵車間，是今后高質量硅單晶研制的基礎保障，背后也蘊藏著所有新區建設者的辛勤汗水和無私付出。在基礎設施和動力配套完善后，新的單晶爐設備開展了進場安裝工作。由于前期的充分準備和對可能遇到問題的準確預判，盡管設備安裝過程中遇到了一些難題，但最終都很快得以解決。為了加快工期，新區的工作人員們進入了快進模式，大家幾乎全部放棄了休息。在硅單晶組技術人員和其它新區工作人員的努力下，僅用時1個多月，便全部完成了多臺套新進單晶爐設備的安裝和動力二次配套工作，我們的準備工作和協調配套工作也得到設備廠家的贊許。
由于硅單晶組技術人員此前已對該型單晶爐設備和8英寸硅單晶拉制技術熟練掌握，加之前期準備工作充分到位，在不到一周的時間內便完成了單晶爐熱場的安裝和煅燒工作。因此在設備和動力配套完備的前提下，關鍵的單晶拉制工序便手到擒來，第一次拉晶試驗便成功拉制出半導體級8英寸硅單晶，為寒冬中的新區增添了一抹亮麗的顏色。
“8英寸硅單晶的順利拉制，體現了新材料產業園區在廠房基礎設施和動力配套保障方面已經基本滿足了相應的生產需求，具備了開展硅單晶材料規模化生產的必要條件。團隊成員表示，第一棵硅單晶的落地打響了新區半導體材料產業化發展的第一槍，后續，他們將在五中全會精神的指引下，相繼將更多臺套設備的投入使用，發揮新材料產業園半導體材料發展的基石的作用。
